SPT-20

SPT-20是一款非常易于操作的金属溅射涂布机,是市场上最具价值的自动涂布机。用于多种类型金属的金属溅射,提高成像分辨率,提高样品导电性,降低电子电荷,减少光束对敏感样品的损伤。

SPT-20涂布机是为基本上平坦的样品而设计的,因为它没有通常用于昆虫和构件等三维样品的倾斜-旋转功能。对于需要涂布“地面路径”的三维样品,建议使用更先进的溅射涂布机,如桌面安全域

SPT-20涂布机集成了LCD触摸屏操作用户界面。外部真空泵(包括)允许实现快速真空,从而为大多数标准的SEM分析提供适当的涂层晶粒尺寸。

  • LCD控制面板-保存多种设置和涂层配方
  • 快速易涂:按启动键->自动真空->等离子喷涂->排气
  • 涂布时间由用户自行设定,并在液晶显示器上显示
  • 最小的涂布机安装空间
  • 包括外旋叶片真空泵
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规范

SPT-20 安全域
目标材料 Au, Pt, Pd, Cu, Ag Au, Pt, Au/Pd, Pt/Pd, Cu, Ag
目标的大小 Φ50毫米 Φ50毫米
室的大小 100毫米 170毫米
电离能力 0 ~ 9ma 0至50 mA可达80W直流
过程气体 空气 空气或氩
Tilt-Rotate阶段 N/A 标准
厚度监控 N/A 标准
碳涂层 N/A 可选
涂布机尺寸(毫米) 420 (W) x220 (D) x230 (H) 500 (W) x370 (D) x450 (H)
装船重量 10kg(涂布机)+ 14kg(泵) 42公斤
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