真空科学PM100等离子清洁器

等离子清洁器帮助扫描电镜操作人员保持洁净室最高质量成像可能。即使有最好的护理和卫生,扫描电镜室最终将收集沉积的有机污染物,甚至从房间气氛。通常,样品本身会排出气体,在扫描电镜室内造成污染环境。这是最值得注意的“暗矩形”在扫描电镜样品的图像被缩小或缩小放大。黑色区域是碳沉积,是电子束分解样品表面的有机物和碳氢化合物的结果。

PM100等离子体清洁器实际上可以消除这个问题,并在成像前清洗样品本身。请参阅本页下方的示例。PM100是唯一能以低至1瓦的功率运行的等离子清洗系统,允许用户清洗即使是最精致的样品原位前成像。

PM100可以添加到几乎任何有可用端口的SEM或真空室。PM100安装在KF-40法兰上,但可根据要求提供其他法兰选项。如果OEM没有提供PM100的适配器法兰,我们将协助为您的设备制作适配器法兰。

PM100等离子清洁器为等离子体净化设定了一个全新的标准,采用了完全集成的解决方案——没有外部电子设备,没有电缆束,没有杂波——只是可靠的清洁真空室,如扫描电子显微镜。manbetx提款为什么速度快e使用专有的算法,PM-100提供了简单的操作,在宽功率范围和宽真空水平,没有参数调整。专利技术确保可靠的等离子狗万活动点火,即使在通常困难的低压(5- 25mtorr)和在任何功率。操作员只需设置所需的清洗功率和运行时间,然后按“开始”键。

等离子体清洁PM100

PM100等离子体清洁器可以添加到几乎任何具有自由腔端口的SEM。万博app官网登录联系我们讨论你的设备类型。

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应用程序

PM100等离子体清洗机应用实例:

等离子清洗前的晶圆

在之前-黑暗矩形之前的成像

等离子体清洗后的晶片

等离子清洗20分钟后

等离子体清洗前键合垫扫描电镜图像

在之前-黑暗矩形之前的成像

等离子体清洗后的键合垫SEM图像

等离子清洗20分钟后

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硬件

PM100等离子体清洗机规格:

  1. 等离子体功率范围:1 ~ 75瓦
  2. 压力范围:10 ~ 100mtorr
  3. 工作环境:空气、O2、H2(其他气体可根据要求)
  4. 允许清洗操作时间:1秒至24小时
  5. 安装适配器:KF40(可根据需要选配)
  6. 处理器:32位120 MHz Arm®Cortex®M4核心
  7. 控制界面:USB
  8. 功率:24V DC / 4A max (20W RF下1A典型)
  9. 尺寸:长230mm x 100mm x 100mm
  10. 重量:3.4磅(1.6公斤)
  11. 包括:控制软件,直流电源,电缆
  12. 根据要求定制颜色

5年保修-不需要服务合同

安装示例

PM-100等离子清洗机在CX-200plus扫描电镜
PM-100等离子清洗机在em -30 +桌面扫描电镜