高真空多源溅射涂布机
我们的桌面多源溅射镀膜机为材料研究科学家提供了一种高度灵活的工具，通过其三重溅射源或可选的热蒸发模块来生产各种格式的薄膜样品。溅射可以从多个头部连续或同时发生，以产生薄膜合金或更有效地覆盖大面积。磁控管阴极是水冷的，允许较长的镀膜时间比传统的紧凑溅射镀膜将允许更厚的薄膜。多种型号可供选择，可配置为多种操作:
- DST3-A:溅射纯角度阴极
- DST3-S：纯溅射-直阴极
- DST3-TA：溅射+热蒸发-角度阴极
- DST3-TS：溅射+热蒸发-直阴极
- DST2-A:低价2头溅射系统
利用由外部真空泵（包括的）和直接连接的TMP（涡轮分子泵）组成的双泵送系统，DST3系列实现了微托在微型粉末范围内的真空，允许将非常细的晶粒薄膜应用于多个基板。具有优异的细粒尺寸的均匀薄膜形成在适用于先进材料研究和高倍率扫描电子显微镜的快速循环时间。
DST3系统配备大室（直径）和三个2“直径的水冷阴极，使其适用于长时间沉积。该系统配备了RF和DC电源。它可以溅射半导体，电介质和金属（氧化和贵族）靶标。该系统配备了自动调节匹配盒，最大限度地减少了RF溅射过程中的反射功率。为了将膜粘附到基板上并改善膜结构，可以将DC偏置电压施加到基板（可选）或可选的加热器允许基板加热至500℃。两个质量流量控制（MFC）气体输入允许将气体流量精确控制到腔室中。
DST3-T系统包括热蒸发能力，以补充溅射工艺，为涂层工艺提供进一步的灵活性。
-
- 金属、半导体和电介质薄膜
- 纳米与微电子学
- 太阳能电池的应用
- Co-Sputtering流程
- 光学组件涂层
- SEM & FE-SEM样品制备
-
- 高兴溅射(掠射角沉积)
- 计算机内存的应用程序
- 薄膜传感器
- 磁性薄膜器件
- 细粒构造沉积
- 在一个紧凑的系统中溅射和热蒸发(T模型)过程
- 三个2”水冷，磁控管阴极
- 配备直流和射频电源，适用于生产合金薄膜(DST3-TA)和多层沉积
- 热源（可选 - T模型）
- 无限沉积时间，无需断开真空
- 500°C衬底加热器(可选)
- 300v DC基板偏置电压(可选)
- 两级，直接驱动旋转叶片粗加工泵
- 涡轮分子泵(90升/秒莱宝)
- 两个精密质量流量计(MFC)用于真空的精细控制
- 两台高精度石英晶体厚度监测器
- 直观的触摸屏控制涂装过程
- 用户友好的软件，可以通过网络更新
- 控制涂层速度，以实现更细的晶粒组织
- 手动或自动定时和厚度溅射
- 每个溅射源上的电子控制快门
- 气体净化和排气的电子控制
- 易于改变2“(50mm)直径溅射目标
- 易于变化的样品阶段（旋转级是标准的）
- 2年工厂保修
触摸屏控制
所有涂层机都配有7英寸触摸屏，并全自动控制允许轻松操作，即使是缺乏经验的用户。可以在触摸屏上观察真空，电流和沉积信息作为数字数据或曲线。最后300个涂层的信息也保存在历史记录页面中。
用于溅射目标的直或角度阴极
成角的阴极:
DST3-A和DST3-TA配备了三个有共同焦点的角度阴极。可以从两个或三个(可选)靶同时或独立地溅射，分别形成合金或多层沉积。该型号衬底的最大尺寸可达75mm(3英寸)。
直阴极：
DST3-S和DST3-TS采用三个直的2英寸水冷阴极，适用于直径高达200mm（8英寸）或几种较小标本的单个大型样品。
样品持有人
DST3型号可根据用户要求配置不同的样台配置。标准样品台有一个玻璃载玻片，带有可调高度或角度的夹。
可以轻松调整定制样品架。可提供标准晶片尺寸100毫米（4英寸）和200mm（8英寸）的支架。当需求发生变化时，保持器可以随其他支架轻松交换。
等离子体清洁选项
的DST3可配备等离子清洗机选项。等离子体清洗是利用电离气体或等离子体从基材表面去除有机物的过程。在沉积薄膜之前对基材进行预清洗，减少基材表面的污染(碳基、氧化物)，并改善基材与后续薄膜层之间的附着力。
| DST3 | DST3-T | |
|---|---|---|
| 溅射材料 | 所有金属和大多数氧化物 | 所有金属和大多数氧化物 |
| 蒸发 | N / A. | 包括在内 |
| 真空 | 0.5 x E-6 Torr | 0.5 x E-6 Torr |
| 目标的大小 | Φ50毫米 | Φ50毫米 |
| 室的大小 | 300毫米 | 300毫米 |
| 溅射电流 | 0 ~ 100ma | 0 ~ 100ma |
| 蒸发能力 | N / A. | 0 - 1200 v, 0 - 500 ma |
| 系统电源 | 300 w直流 | 300 w直流 |
| 过程气体 | 基于“增大化现实”技术,O, N | 基于“增大化现实”技术,O, N |
| 倾斜旋转阶段 | 标准 | 标准 |
| 厚度监控 | 标准(2) | 标准(2) |
| 输入功率 | 220V - 1相 | 220V - 1相 |
| 涂布机尺寸(毫米) | (W) 500 x600 (D) x570 (H) | (W) 500 x600 (D) x570 (H) |
| 架尺寸(毫米) | (W) 500 x600 (D) x770 (H) | (W) 500 x600 (D) x770 (H) |
| 装运重量 | 160公斤 | 160公斤 |