NANOSTATION软件

NanoStation 4.0软件为新手用户提供了一个简单和干净的界面，没有杂乱，而更高级的用户可以很容易地访问功能，允许进一步控制显微镜功能。通过直观的软件，用户可以快速、轻松地查看和保存图像的细节。

在左下角，将显示标准腔室视图摄影机视图或样本架示意图。在界面的左上角，迷你地图是以视野或感兴趣区域所需的最低放大率采集的图像。当用户以更高的放大率导航到样本上的其他位置时，当前视野的位置将显示在迷你地图上（黄色矩形）。

所有“滑块”控件都可以通过多种技术轻松调整–拖动指示器、使用鼠标滚轮、+/-按钮、键盘或“自动”功能。

除了高级用户喜欢的一些功能（如聚焦）的键盘快捷键外，该软件还可以通过鼠标单击或鼠标滚轮轻松访问所有显微镜和成像调整。所有各种功能控制组都在软件界面上进行逻辑组织，次要窗口上的设置不太常见。

室内摄像机和10个附件端口

的CX-200plus扫描电镜到达标准与CCD室相机包括。SEM腔室提供10个附件端口。其中一些用于标准组件，如成像探测器和腔室摄像机。其他端口专门用于EDS和EBSD，而其他端口可以用于附件，如我们的STEM探测器，冷却阶段，或其他定制功能。该腔室允许样品大到160mm与减少阶段移动。

样品定位台

的CX-200plusSEM提供了一个标准的5轴工作台，自动“点击和移动”XYZRT样品定位，最终在灵活性。5个方向的控制通过软件界面完成，并利用样品尺寸，以防止与内部室附件的碰撞。

Tilt函数对于检查平面样品的地形非常有用。倾斜功能以计算机为中心，在倾斜过程中调整X轴，以保持视野内的试样感兴趣区域(ROI)。计算机倾斜功能提供了更多的通用性和节省时间，它更容易使用，特别是对经验不足的用户。

自动控制的舞台也使CX-200plus提供了一种独特的“全景”模式，通过控制更高放大倍数的电动舞台，SEM可以收集大样品的高分辨率图像。非常有用的应用，如详细检查或计量半导体和电子组件。

该工作台能够处理大样本（高达160mm）或多个样本的样本架。可观察区域为110mm。

图像测量工具

图像计量或测量是极其灵活和准确的CX-200系列的SEM。广泛的校准是工厂在多个放大率，工作距离，光束能量和更多，导致测量误差小于1%。详细的校准报告随每个系统的文档而来，使CX-200plus成为一个很有价值的工具，可以轻松认证并在您的工作流程中接受。

该软件可快速访问所有常用测量工具，例如：

• 长度
• 直径
• 面积(矩形、圆形、多边形)
• 角
• 注释

此外，线扫描功能(见右图)可以用于非常详细和精确的测量，利用每个像素亮度的变化，准确地确定边缘和特征的真实位置。