纳急软件

Nanostation 4.0软件提供了新手用户简单而干净的界面，无杂乱，而更高级的用户可以轻松访问功能，允许进一步控制显微镜功能。使用直观的软件，用户能够快速轻松地查看和保存图像。

在左下角，显示标准腔室视图相机视图或样品架示意图。在接口的左上角，Mini Map是在视野或感兴趣区域所需的最低放大率下收集的图像。当用户导航到样本和更高的放大率上的其他位置时，在迷你映射（黄色矩形）上指示当前视野的位置。

通过使用各种技术可以轻松调整所有“滑块”控制 - 使用鼠标滚轮，+/-按钮，键盘或“自动”功能拖动指示器。

除了高级用户的键盘快捷方式除了焦点等一些功能之外，软件还可以通过鼠标点击或鼠标滚轮轻松访问所有显微镜和成像调整。所有各种功能控制组都在逻辑上组织在软件接口上，与辅助窗口的视图较少的常见设置。

腔室相机和10个配件端口

该cx-200plus.SEM到达标准标准，包括CCD腔室相机。SEM腔室提供10个配件端口。其中一些用于标准组件，如成像探测器和腔室相机。其他端口专为EDS和EBSD专门用于EDS和EBSD，而其他端口可用于诸如我们的Stem检测器，冷却阶段或其他定制功能的附件中。腔室允许样品大约160mm，减少舞台运动。

样品定位阶段

该cx-200plus.SEM以标准的5轴级提供，具有自动“点击和移动”XYZRT样本定位，以实现最终的灵活性。通过软件界面进行对5个方向的控制，并利用样品尺寸来防止与内腔附件的碰撞。

倾斜函数对于检查平面样本的形貌非常有用。倾斜函数是光学的，使得在倾斜期间调整X轴以维持在视野中的感兴趣的标本区域（ROI）。经链接倾斜函数提供更多的多功能性和时间节省，特别适用于Inperieced用户。

自动控制阶段也实现了cx-200plus.提供独特的“全景”模式，允许通过在更高放大率下控制电动级来收集大型样品的高分辨率图像。对半导体和电子组件的详细检查或计量等应用非常有用。

该舞台能够处理多个样品的大型样品（最多160mm）或样品架。可观察区域为110mm。

图像计量工具

使用CX-200系列SEM非常灵活，图像计量或测量非常灵活。广泛的校准是工厂的多个放大率，工作距离，光束能量和更多导致测量误差小于1％。每个系统的文档都具有详细的校准报告，使CX-200plus成为一个有价值的工具，可以在您的工作流程中轻松认证和接受。

该软件可快速访问所有通用测量工具，如：

• 长度
• 直径
• 区域（矩形，圆形，多边形）
• 角度
• 注解

另外，使用每个像素亮度的变化来精确地确定边缘和特征的真实位置，可以使用线扫描功能（在右边的右侧）用于非常详细和精确的测量。