从真空科学的PM100等离子体清洁剂

等离子清洁剂帮助SEM操作员保持清洁室,以实现最高质量的成像。即使有最大的护理和卫生,SEM室也最终将甚至从房间大气层收集沉积的有机污染物。通常,对自身的样品自身出气体在SEM室内产生污染的环境。这在SEM样本上的“暗矩形”是最引人注目的,因为图像被缩小或放大倍率降低。暗区是碳沉积在样品表面上的光束离解有机物和烃的结果。

PM100等离子体清洁剂实际上可以消除这个问题,并在成像之前清洁样品。请参阅此页面的进一步查看示例。PM100是唯一能够以低至1瓦的功率运行的唯一等离子体清洁系统,允许用户清洁最精细的样品原位在成像之前。

PM100可以添加到几乎任何带有可用端口的任何SEM或真空室。PM100安装到KF-40法兰上,但可应要求提供其他法兰选项。如果OEM没有为PM100提供一个,我们将协助为您的设备制作适配器法兰。

PM100等离子体清洁剂采用全集成解决方案为等离子净化的新标准 - 没有外部电子器件,没有电缆束,没有杂乱 - 仅适用于扫描电子显微镜等真空室的可靠清洁。manbetx提款为什么速度快e使用专有算法,PM-100在宽的功率范围内提供简单的操作和宽真空液位,没有参数进行调整。专有技术即使在通常困难的狗万活动低压(5-25 mtorr)和任何电源上也可确保可靠的等离子体点火。操作员简单地设置所需的清洁电源并运行持续时间,然后按“开始”。

等离子清洁剂PM100

PM100等离子体清洁剂可以用自由室端口添加到几乎任何SEM中。万博app官网登录联系我们讨论您的设备类型。

请求报价

应用程序

PM100等离子体清洁剂的应用实例:

等离子清洁前的晶圆

之前 - 来自现有成像的黑暗矩形

等离子清洁后的晶圆

血浆清洁后20分钟

粘接垫SEM图像在等离子体清洁之前

之前 - 来自现有成像的黑暗矩形

粘接垫SEM图像等离子清洗后

血浆清洁后20分钟

请求报价

硬件

PM100等离子体清洁剂的规格:

  1. 等离子体功率范围:1至75瓦
  2. 压力范围:10至100 mtorr
  3. 经营气氛:空气,O2,H2(可应要求的其他气体)
  4. 允许清洁操作时间:1秒至24小时
  5. 安装适配器:KF40(其他可应要求)
  6. 处理器:32位120 MHzARM®Cortex®M4核心
  7. 控制界面:USB
  8. 电源:24V DC / 4A MAX(1A典型为20W RF)
  9. 尺寸:230mm长x 100mm x 100mm
  10. 重量:3.4磅(1.6千克)
  11. 包括:控制软件,直流电源,电缆
  12. 根据要求定制颜色

5年保修 - 无需服务合同

安装示例

CX-200plus SEM上的PM-100等离子体清洁剂
EM-30plus桌面SEM上的PM-100等离子体清洁剂