microPREP - FIB样品制备流程改进
的microPREPPRO系统3 d Micromac为满足微观结构诊断和失效诊断的需要,研制了高效的激光制样技术。传统的FIB制备流程在最终的FIB处理前完成一个粗化步骤,实现了极大的速度提高和FIB刀具磨损。因此,与microPREP使用超短脉冲激光可以有效和经济地制备™PRO材料样品。
microPREP™PRO允许创建复杂的3d形状的样品,以实现对某些结构的更全面的分析,如先进的封装,如通过硅孔(TSVs),甚至完整的包中系统(SiP)。
此外,它可以提供微米级精度的大尺寸样品。集成的概述相机帮助导航在更大的样本-高清过程相机允许精确定位。
此外,使用皮秒激光可以确保材料几乎没有结构损伤和元素污染。此外,microPREP与纯离子束工艺相比,™PRO的新方法具有更高的消融率。
软件的模块化设计microPREP™保证了样品加工的高度灵活性,为广泛的微观结构诊断技术。基于机器提供和客户设计的参数设置(菜谱)microPREP™PRO提供最佳的样品制备技术为:狗万活动
- 扫描电子显微镜(SEM)
- 透射电子显微镜
- x射线显微镜(XRM),
- 原子探针断层扫描(APT)
- 微观力学
通过不断的发展,市场上出现了越来越多的应用领域,其中microPREP™PRO能够协助处理样品制备,以进行材料分析。除了简单的准备,样品也可以用激光标记,microPREP™PRO易于跟踪。
microPREP™特点和亮点:
- 自由形式或盒铣削和直线切割,以快速进入感兴趣的领域
- 加载任何类型的几何图形到系统
- 用旋转工具为XRM和同步加速器应用准备圆柱样件
- 一次运行多个示例可以启用更多的吞吐量
- 机动舞台以尽可能快的速度找到感兴趣的区域
- 食谱驱动的软件,快速和容易的样品准备
- 使用概览相机导航到感兴趣的区域
- 在加工过程中或之后清洗样品,为下一步做好准备
- 可升级的未来选项
microPREP™PRO是最适合样品制备的超短脉冲激光。利用超短脉冲激光进行微细加工的关键优点是结构损伤低、功率密度高、微米尺度的目标精度高。因此,microPREP™PRO是完美的激光切割和局部激光细化金属,半导体,陶瓷,以及化合物和聚合物。
microPREP™PRO支持大容量样品制备,用于微观结构诊断和故障分析。此外,集成的CO2雪喷和附加的概览相机可以帮助您减少更多的采样时间。
合适的应用程序包括:
- 激光切割和个别样品制备
- 扫描电镜和显微分析
- 微机械试验样品制备
- 透射电子显微镜的平面和截面
- 基于microPREP的xsl - chunk阶段
- x射线显微镜样品制备
- Pre-shaped恰当的样品
XRM / APT样品准备的旋转阶段
SnowJet清理二氧化碳碎片
透射电镜平面样品和大块样品-切割和细化
XRM - 3D x射线显微镜样品制备
APT原子探针层析成像样品制备




