microPREP - FIB样品制备流程改进

microPREPPRO系统3 d Micromac为满足微观结构诊断和失效诊断的需要,研制了高效的激光制样技术。传统的FIB制备流程在最终的FIB处理前完成一个粗化步骤,实现了极大的速度提高和FIB刀具磨损。因此,与microPREP使用超短脉冲激光可以有效和经济地制备™PRO材料样品。

microPREP™PRO允许创建复杂的3d形状的样品,以实现对某些结构的更全面的分析,如先进的封装,如通过硅孔(TSVs),甚至完整的包中系统(SiP)。

此外,它可以提供微米级精度的大尺寸样品。集成的概述相机帮助导航在更大的样本-高清过程相机允许精确定位。

此外,使用皮秒激光可以确保材料几乎没有结构损伤和元素污染。此外,microPREP与纯离子束工艺相比,™PRO的新方法具有更高的消融率。

软件的模块化设计microPREP™保证了样品加工的高度灵活性,为广泛的微观结构诊断技术。基于机器提供和客户设计的参数设置(菜谱)microPREP™PRO提供最佳的样品制备技术为:狗万活动

  • 扫描电子显微镜(SEM)
  • 透射电子显微镜
  • x射线显微镜(XRM),
  • 原子探针断层扫描(APT)
  • 微观力学

通过不断的发展,市场上出现了越来越多的应用领域,其中microPREP™PRO能够协助处理样品制备,以进行材料分析。除了简单的准备,样品也可以用激光标记,microPREP™PRO易于跟踪。

microPREP Pro用于激光样品制备FIB APT XRM
应用程序
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特色和亮点

microPREP™特点和亮点:

  • 自由形式或盒铣削和直线切割,以快速进入感兴趣的领域
  • 加载任何类型的几何图形到系统
  • 用旋转工具为XRM和同步加速器应用准备圆柱样件
  • 一次运行多个示例可以启用更多的吞吐量
  • 机动舞台以尽可能快的速度找到感兴趣的区域
  • 食谱驱动的软件,快速和容易的样品准备
  • 使用概览相机导航到感兴趣的区域
  • 在加工过程中或之后清洗样品,为下一步做好准备
  • 可升级的未来选项

microPREP™PRO是最适合样品制备的超短脉冲激光。利用超短脉冲激光进行微细加工的关键优点是结构损伤低、功率密度高、微米尺度的目标精度高。因此,microPREP™PRO是完美的激光切割和局部激光细化金属,半导体,陶瓷,以及化合物和聚合物。

microPREP™PRO支持大容量样品制备,用于微观结构诊断和故障分析。此外,集成的CO2雪喷和附加的概览相机可以帮助您减少更多的采样时间。

合适的应用程序包括:

  • 激光切割和个别样品制备
  • 扫描电镜和显微分析
  • 微机械试验样品制备
  • 透射电子显微镜的平面和截面
    • 基于microPREP的xsl - chunk阶段
  • x射线显微镜样品制备
  • Pre-shaped恰当的样品
microPREP旋转阶段XRM APT样品准备

XRM / APT样品准备的旋转阶段

microPREP Snowjet清洁

SnowJet清理二氧化碳碎片

应用程序和工作流示例

TEM截面- XL块

为了实现对横断面的瞬变电磁检测,microPREP™通过从任意但平坦的样品表面挖掘和切割定义明确的体积,实现了对现场特定的xl块™的“按钮”样品制备。为了进一步减少FIB制备时间,XL-Chunks™可以根据应用需要在感兴趣的区域自动激光薄至几微米厚度,与传统样品制备方法相比,节省了数量级的时间和成本。
微预处理TEM截面过程
microPREP TEM横截面样品制备

透射电镜平面样品和大块样品-切割和细化

为了通过透射电子显微镜(TEM)对大体积样品进行研究,microPREP™系统提供了一种独特的三阶段方法。这包括从原料切割机的整体基本结构之后,随后laser-thinning几微米厚,最终变薄电子透明度使用广泛的离子束铣(龙头)或聚焦离子束(FIB)铣削而提供多达10000倍烧蚀率和一个数量级低拥有成本相比传统FIB工作流。
microPREP TEM散装样品切割和细化过程

XRM - 3D x射线显微镜样品制备

使用高分辨率x射线显微镜(XRM或X-CT)进行非破坏性三维表征,需要直径约为10微米的旋转对称样品。传统的FIB铣削需要几天或几周的时间来制备合适的样品,而使用microPREP™系统制备相同几何形状的激光样品只需不到5分钟。
microPREP XRM x射线显微镜样品制备过程

APT原子探针层析成像样品制备

为了改进原子探针断层扫描(APT)的样品制备,microPREP™系统能够对专用的APT样品进行侧面特异性切割,并随后将尖端锐化到小于15μm直径。因此,microPREP™不仅有助于减少所需的FIB铣削,而且还提高了APT测量的产量和吞吐量。
microPREP APT原子探针断层扫描样品制备过程
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