纳急软件

Nanostation 4.0软件提供了新手用户简单而干净的界面，无杂乱，而更高级的用户可以轻松访问功能，允许进一步控制显微镜功能。使用直观的软件，用户能够快速轻松地查看和保存图像。

在左下角，要么是标准的腔镜摄像机视图，要么是样品支架示意图。在界面的左上角，小地图是一幅以最低放大率收集的图像，以满足视野或感兴趣的区域的需要。当用户以更高的放大率导航到样品上的其他位置时，当前视场的位置会显示在迷你地图(黄色矩形)上。

所有的“滑块”控件都可以通过使用各种技术轻松调整——拖动指示器，使用鼠标滚轮，一个+/-按钮，键盘或“自动”功能。

除了高级用户喜欢的键盘快捷键，如聚焦等功能，该软件可以通过鼠标点击或鼠标滚轮方便地进行所有显微镜和成像调整。所有的各种功能控制组在逻辑上组织在软件界面上较少的常见设置位于次要窗口的视图之外。

腔室摄像头和10个附件接口

该cx - 200 +SEM到达标准标准，包括CCD腔室相机。SEM腔室提供10个配件端口。其中一些用于标准组件，如成像探测器和腔室相机。其他端口专为EDS和EBSD专门用于EDS和EBSD，而其他端口可用于诸如我们的Stem检测器，冷却阶段或其他定制功能的附件中。腔室允许样品大约160mm，减少舞台运动。

样品定位阶段

该cx - 200 +SEM以标准的5轴级提供，具有自动“点击和移动”XYZRT样本定位，以实现最终的灵活性。通过软件界面进行对5个方向的控制，并利用样品尺寸来防止与内腔附件的碰撞。

倾斜函数对于检查平面样本的形貌非常有用。倾斜函数是光学的，使得在倾斜期间调整X轴以维持在视野中的感兴趣的标本区域（ROI）。经链接倾斜函数提供更多的多功能性和时间节省，特别适用于Inperieced用户。

自动控制阶段也实现了cx - 200 +提供独特的“全景”模式，允许通过在更高放大率下控制电动级来收集大型样品的高分辨率图像。对半导体和电子组件的详细检查或计量等应用非常有用。

该平台可以处理大样品(最多160mm)或多个样品夹。可观测面积为110mm。

图像计量工具

使用CX-200系列SEM非常灵活，图像计量或测量非常灵活。广泛的校准是工厂的多个放大率，工作距离，光束能量和更多导致测量误差小于1％。每个系统的文档都具有详细的校准报告，使CX-200plus成为一个有价值的工具，可以在您的工作流程中轻松认证和接受。

该软件提供快速访问所有常见的测量工具，如:

• 长度
• 直径
• 区域（矩形，圆形，多边形）
• 角
• 注释

另外，使用每个像素亮度的变化来精确地确定边缘和特征的真实位置，可以使用线扫描功能（在右边的右侧）用于非常详细和精确的测量。