脉冲激光沉积和热蒸发涂布机 - PLD
我们的普具有可选的热蒸发涂布机的脉冲激光沉积系统为材料研究科学家提供了一种高度灵活的工具,用于以各种格式生产薄膜标本。它可以将复杂的材料和结晶结构存放在具有非常少的设置的基材上。脉冲激光沉积技术导致有效,不热烧蚀,并保留目标材料的化学计量。通过应用这种方法,可以将诸如氮化物,氧化物,超格子,聚合物和复合材料的材料沉积。
采用双泵系统,由外部真空泵(包括)和直接连接的TMP(涡轮分子泵)组成,普脉冲激光沉积系统可以在微型托隙中实现真空,允许将非常细的晶粒薄膜应用于多个基板。具有优异的细粒尺寸的均匀薄膜形成在适用于先进材料研究和高倍率扫描电子显微镜的快速循环时间。
这普系统配备了大型室(300毫米直径)和三(3)个源支架,具有电动目标选择。不包括激光源并坐在腔室外部,并利用腔室窗口进行激光访问源目标。为了将薄膜粘附增加对基板并改善膜结构,可选的加热器允许基板加热至500℃。质量流量控制(MFC)气体输入允许精确的气体流量控制和腔室压力。
- 用靶操纵器和可调速激光烧蚀沉积
- 蒸发3个材料来源I(选项PLD-T型号)
- 无限的沉积时间而不破坏真空
- 蒸发源持有 - 船,篮子,线圈
- 500°C衬底加热器(可选)
- 电气馈电进入工艺室
- 两级直接驱动旋转叶片粗泵
- 涡轮分子泵(90 L / SEC LEYBOLD)
- 精密质量流量计(MFC),用于对真空进行微量控制
- 高精度石英晶料厚度显示器(水冷)
- 直观的触摸屏控制涂层过程
- 可通过网络更新的用户友好软件
- 控制涂料率以实现更细粒结构
- 手动或自动定时和厚度沉积
- 电子控制快门
- 气体吹扫和通风口的电子控制
- 易于变化的样品阶段(旋转级是可选的)
- 2年工厂保修
| 普 | PLD-T. | |
|---|---|---|
| 真空 | 0.5 x E-6 Torr | 0.5 x E-6 Torr |
| 激光目标尺寸 | 25mm(1)) | 25mm(1)) |
| 数量或激光目标 | 3. | 3. |
| 源持有人 | N / A. | 船,篮子,线圈 |
| 蒸发源数量 | N / A. | 3. |
| 保持器长度 | N / A. | 50到90毫米 |
| 室尺寸 | 300mm. | 300mm. |
| 电源供应 | (2)25V DC,0-100A | (2)25V DC,0-100A |
| 工艺气体 | ar,o,n | ar,o,n |
| 旋转舞台 | 可选的 | 可选的 |
| 厚度显示器 | 标准 | 标准 |
| 输入功率 | 110V 1相 | 220V 1阶段 |
| 涂布机尺寸(mm) | 650(w)x500(d)x560(h) | 650(w)x500(d)x560(h) |
| 装运重量 | 60千克 | 60千克 |





