用于Fe-SEM的高真空溅射和碳涂布器

选择五(5)型号:

  • DST溅射
  • DST1-L溅射
  • DCT Carbon.
  • DCT-L碳
  • DSCT Dual.

T系列台式涂布器是高生产率工具,可在具有符合人体工程学设计和紧凑的占地面积的全自动系统中提供一致和可重复的结果。T系列台式涂布器将R系列膨胀,加入涡轮分子泵(TMP),以实现更高的真空水平,有4种型号可供选择,以选择:

  • DST.- 专用溅射涂餐
  • DST1-L.- 大室,专用溅射涂餐
  • DCT.- 专用碳涂布机(纤维或棒)
  • DCT-L.- 大室,专用碳涂布机(纤维或棒)
  • DSCT.- 双目的溅射和碳涂布机

DST.溅射涂布机模型是一种专用涂层系统,能够涂覆贵金属,如金(Au),钯(Pd),铂(Pt),金/钯(Au / Pd)以及铱(IR)薄膜也是如此作为氧化涂层,例如铬(Cr),钨(W)和非导电或不良导电标本上的其他,通常用于更高的分辨率场发射Fe-SEM成像和分析。具有优异的细粒尺寸的均匀薄膜形成在适合于高倍率扫描电子显微镜的快速循环时间。这DST1-L.是一种具有较大300mm的腔室和4“(100mm)靶标的特殊模型,用于涂覆晶硼等较大的样品。我们还提供了DST3.这是一种多源溅射系统,用于更复杂的涂层操作和合金化

DCT.碳涂布机模型是一种专用的碳涂层系统,可以配置有螺纹或棒碳源。碳薄膜基本上是EDS分析的X射线透明,并且应用于非导电或导电性差的标本,通常用于高级SEM / EDS分析。这DCT-L.是一种特殊型号,具有较大的300mm腔室,用于多个冶金架和薄段载玻片的高通量涂层。

DSCT.将溅射和碳涂层与SEM样品制备的模块化单元相结合,可以配置为溅射涂布机或碳涂布机(螺纹),在一个仪器中具有可互换的头部。

通过由外部真空泵(包括的)和直接连接的TMP(涡轮分子泵)组成的双泵送系统,T系列达到微托在微型托管范围内的真空,这是贵金属溅射涂层和先进的合适真空范围蒸发涂层并允许实现快速真空,得到足够的涂层粒度,用于高倍率SEM分析。如果将使用较低分辨率标准SEM(Tungsten Source)检查样品,那么我们建议我们的R系列涂布器这更经济,适当地用于这种显微镜。

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规格

标准特征

  • 两级直接驱动旋转叶片粗泵
  • 涡轮分子泵(90 L / SEC LEYBOLD)
  • 精密质量流量计(MFC),用于对真空进行微量控制
  • 高精度石英晶体厚度监测器
  • 直观的触摸屏控制涂层过程
  • 可通过网络更新的用户友好软件
  • 控制涂料率以实现更细粒结构
  • 手动或自动定时和厚度溅射
  • 电子控制快门
  • 气体吹扫和通风口的电子控制
  • 易于改变2“(50mm)直径溅射靶(DST和DSCT)
  • 脉冲或闪存碳纤维涂层模式(DCT和DSCT)
  • 碳棒涂层 -可选的(DCT)
  • 易于变化的样品阶段(旋转级是标准的)
  • 2年工厂保修

功能易用性功能

触摸屏控件

所有涂层机都配有7英寸触摸屏,并全自动控制允许轻松操作,即使是缺乏经验的用户。可以在触摸屏上观察真空,电流和沉积信息作为数字数据或曲线。最后300个涂层的信息也保存在历史记录页面中。

样本持有人

所有涂布机型号可配备不同的样品级配置,具体取决于用户要求。标准样品级最多可容纳7个标准SEM引脚存根安装,可调节高度或角度。当需求发生变化时,保持器可以与其他支架轻松交换。

可选的旋转行星样品阶段是具有孔隙率或复杂3D细节的标本均匀涂覆的良好选择,其中难以达到样本的特征。

其他持有人可用于:

  • 玻璃幻灯片
  • 冶金坐骑
  • JEOL和Hitachi风格气缸存根
标准倾斜旋转支架

标准倾斜/旋转支架

行星旋转倾斜阶段

可选的行星旋转/倾斜支架

脉冲碳纤维蒸发

DCT.DSCT.型号涂布器提供脉冲碳纤维蒸发。短脉冲提供更多控制的沉积,并显着降低与传统碳沉积相关的碎屑量。可选择的碳棒涂层头可供选择DCT.模型。

碳涂布机螺纹

易于装载碳螺纹

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T系列桌面高真空涂层系统规格

DST. DCT. DSCT.
目标材料 Au,pt,au / pd,pt / pd,cu,Ag,IR,Cr,W Au,pt,au / pd,pt / pd,cu,Ag,IR,Cr,W +碳
真空 0.5 x E-6 Torr 0.5 x E-6 Torr 0.5 x E-6 Torr
目标大小 φ50mm. 0.8mm(螺纹) φ50mm.
室尺寸 170mm. 170mm(300mm DCT-300) 170mm.
溅射电流 0到100 mA N / A. 0到100 mA
碳蒸发电流 N / A. 0至30A(光纤)0至100A(杆) 0至30A(光纤)0至100A(杆)
系统电源 80W DC. 720W DC. 800W DC.
工艺气体 空气或氩气 空气或氩气 空气或氩气
倾斜旋转阶段 标准 标准 标准
行星倾斜旋转舞台 可选的 可选的 可选的
厚度显示器 标准 标准 标准
碳涂层 N / A. 标准 标准
输入功率 110V(220V可选) 110V(220V可选) 110V(220V可选)
涂布机尺寸(mm) 500(w)X370(d)x450(h) 500(w)X370(d)x450(h) 500(w)X370(d)x450(h)
装运重量 42千克 42千克 44千克
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